Industrial Surface Treatment of Steels by Plasma Techniques

Heim, D. (Speaker)
Forsich, C. (Speaker)

Research Center Wels

Activity: Talk or presentation › Invited talk

Description

Plasmanitrieren und PACVD: Anlagentechnik und Prozesse; Abscheidung von SiOCN- und Si-C:H-Schichten; Kombination Plasmanitrieren und PACVD von Si-hältigen Schichtsystemen; Eigenschaften und mögliche Anwendungsfelder dieser Schichtsysteme

Period	20 Nov 2007
Held at	Vienna University of Technology, Austria