Industrial Surface Treatment of Steels by Plasma Techniques

Heim, D. (Speaker), Forsich, C. (Speaker)

Activity: Talk or presentationInvited talk

Description

Plasmanitrieren und PACVD: Anlagentechnik und Prozesse; Abscheidung von SiOCN- und Si-C:H-Schichten; Kombination Plasmanitrieren und PACVD von Si-hältigen Schichtsystemen; Eigenschaften und mögliche Anwendungsfelder dieser Schichtsysteme
Period20 Nov 2007
Held atVienna University of Technology, Austria