Study of a pulsed DC glow-discharge used for plasma-CVD with an ultrafast videosystem and a langmuir-probe

T. A. Beer; D. Heim; J. Laimer; H. Störi

doi:10.4028/www.scientific.net/msf.287-288.299

Study of a pulsed DC glow-discharge used for plasma-CVD with an ultrafast videosystem and a langmuir-probe

T. A. Beer^*
, D. Heim
, J. Laimer
, H. Störi

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7 Zitate (Scopus)

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	299-302
Seitenumfang	4
Fachzeitschrift	Materials Science Forum
Jahrgang	287-288
DOIs	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.287-288.299
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 1998
Extern publiziert	Ja

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10.4028/www.scientific.net/msf.287-288.299

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TY - JOUR

T1 - Study of a pulsed DC glow-discharge used for plasma-CVD with an ultrafast videosystem and a langmuir-probe

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M3 - Article

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JO - Materials Science Forum

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