PL and EPR studies of Er-implanted FZ- and CZ-Si

H. Przybylinska, J. Enzenhofer, G. Hendorfer, M. Schoisswohl, L. Palmetshofer, W. Jantsch

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftKonferenzartikelBegutachtung

14 Zitate (Scopus)

Abstract

We present photoluminescence (PL) studies of Si:Er by means of high-resolution Fourier spectroscopy. By fitting crystal field parameters, we show that the dominant Er center in FZ Si is interstitial with cubic symmetry. This type of center is observed also in CZ material together with additional, non-cubic Er related centers, two of which contain one Er atom and most likely oxygen. The latter complexes exhibit 10 times higher PL yield. In EPR we identify electrically active centers which are related to substitutional Er.

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)715-720
Seitenumfang6
FachzeitschriftMaterials Science Forum
Jahrgang143-4
Ausgabenummerpt 2
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1994
Extern publiziertJa
VeranstaltungProceedings of the 17th International Conference on Defects in Semiconductors. Part 1 (of 3) - Gmunden, Austria
Dauer: 18 Juli 199323 Juli 1993

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