PACVD zur Abscheidung Si-hältiger Kohlenstoffschichten

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Tagungsband › Konferenzbeitrag

Titel in Übersetzung	PACVD for deposition of Si-containing carbon coatings
Originalsprache	Deutsch
Titel	Proceedings FH Science Day 2008
Herausgeber (Verlag)	Shaker Verlag
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2008
Veranstaltung	FH Science Day 2008 - Linz, Österreich Dauer: 6 Nov. 2008 → 6 Nov. 2008 http://www.fh-ooe.at http://www.fh-linz.at

Konferenz	FH Science Day 2008
Land/Gebiet	Österreich
Ort	Linz
Zeitraum	06.11.2008 → 06.11.2008
Internetadresse	http://www.fh-ooe.at http://www.fh-linz.at

Zitieren

@inproceedings{cc5a8cf13b2f4156aebac2125662b707,

title = "PACVD zur Abscheidung Si-h{\"a}ltiger Kohlenstoffschichten",

author = "Christian Forsich and Daniel Heim and Daniel M{\"u}ller",

year = "2008",

language = "Deutsch",

booktitle = "Proceedings FH Science Day 2008",

publisher = "Shaker Verlag",

note = "FH Science Day 2008 ; Conference date: 06-11-2008 Through 06-11-2008",

url = "http://www.fh-ooe.at, http://www.fh-linz.at",

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