Influence and effects of gas flow on the deposition of SiOCN films in an industrial scale DC glow discharge plasma system

Thomas Müller, Andreas Gebeshuber, Daniel Heim, Christian Forsich

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/TagungsbandKonferenzbeitrag

OriginalspracheEnglisch
TitelAsian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 2008
Seitenumfang1
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2008
Veranstaltung3. Konferenz Mobilität und Mobile Informationssysteme (MMS 2008) - München, Deutschland
Dauer: 26 Feb 200828 Feb 2008

Konferenz

Konferenz3. Konferenz Mobilität und Mobile Informationssysteme (MMS 2008)
Land/GebietDeutschland
OrtMünchen
Zeitraum26.02.200828.02.2008

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