Deposition of N, F and O-doped Amorphous Carbon-Silicon Coatings in an Industrial DC-PACVD-System

Daniel Heim, Christian Forsich, Thomas Müller, Andreas Gebeshuber

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/TagungsbandKonferenzbeitrag

Titel in ÜbersetzungDeposition of N, F and O-doped Amorphous Carbon-Silicon Coatings in an Industrial DC-PACVD-System
OriginalspracheDeutsch
Titel14th International Conference on Plasma Surface Engineering
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014
Veranstaltung12th International Conference on Plasma Surface Engineering - Garmisch-Partenkirchen, Deutschland
Dauer: 15 Sep 201419 Sep 2014

Konferenz

Konferenz12th International Conference on Plasma Surface Engineering
Land/GebietDeutschland
OrtGarmisch-Partenkirchen
Zeitraum15.09.201419.09.2014

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