Bildgebende Methode zur Bestimmung der optischen Konstanten von dünnen Schichten bei hohen Temperaturen durch Analyse der thermischen Strahlungsemission

Die Beschichtung von metallischen Oberflächen mit dünnen Schichten bei hohen Temperaturen (> 300 °C) findet breite industrielle Anwendung (z.B. für verbesserten Korrosionsschutz, in der Oberflächen-härtung, zur Veränderung der Farbeigenschaften, etc.). Die gezielte Prozesskontrolle dieser z.T. sehr zeit- und kostenintensiven Ober-flächenbehandlungen stellt nach wie vor eine wesentliche Herausforderung an die notwendige Messtechnik dar. Im Rahmen dieser Arbeit wird eine neuartige Methode zur Charakterisierung dieser Oberflächenschichten vorgestellt, die auf der Auswertung der thermischen Abstrahlungseigenschaften bei hohen Temperaturen basiert und mittels herkömmlicher CCD-Kameratechnik in bestehende Fertigungsprozesse integriert werden kann.