Upscaling of an a-C:H:Si Triplex Process in an Industrial DC PACVD System

  • Forsich, C. (Redner*in)
  • Daniel Heim (Redner*in)
  • Thomas Müller (Redner*in)
  • Andreas Gebeshuber (Redner*in)

Aktivität: Gespräch oder Vortrag › Vortrag

Zeitraum27 Apr. 2009
Ereignistitel36th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
VeranstaltungstypKonferenz
OrtSan Diego, USA/Vereinigte StaatenAuf Karte anzeigen