Deposition of thick a-C:H:Si-films in an industrial DC-PACVD-system

  • Daniel Heim (Redner*in)
  • Forsich, C. (Redner*in)
  • Thomas Müller (Redner*in)
  • Andreas Gebeshuber (Redner*in)

Aktivität: Gespräch oder Vortrag › Vortrag

Zeitraum10 Sep. 2012
Ereignistitel13th International Conference on Plasma Surface Engineering
VeranstaltungstypKonferenz
OrtGarmisch-Partenkirchen, DeutschlandAuf Karte anzeigen